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                激光干涉儀其優越性表現在哪里呢?
                發布時間:2020-12-22   點擊次數:155次
                   激光干涉儀是一種以波長作為標準對被測長度進行測量的儀器。其主要在:線形、角度、垂直度、直線度、平面度等方面上應用。隨著激光干涉儀測量技術的不斷提高,測量軟件的不斷開發其測量范圍越來越廣泛,特別是在測量數控機床位置精度方面用途廣泛。
                  激光干涉儀發射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監控兩道光束之間的干涉。
                  激光干涉儀的優越性主要有以下幾點:
                  1. 精度高 激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。即使不做細分也可達到μm 量級,細分后更可達到n m量級。(安捷倫5530激光干涉儀線性精度能達到0.4PPM)
                  2. 應用范圍廣 激光干涉儀除了可用于長度的精密測量外,測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等等,還可以分光進行多路測量。
                  3. 環境適應力強 即使光強衰減 90%,仍然可以得到有效的干涉信號。由于這一特點,雙頻激光干涉儀既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準器和坐標測量機,也可以在普通的車間內為大型的機床的刻度進行標定。
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